蔡司三坐標(biāo)測(cè)針球頭材質(zhì)除紅寶石外，還有氮化硅、氧化鋯、陶瓷和碳化鎢。大多數(shù)三坐標(biāo)測(cè)針的測(cè)尖是一個(gè)球頭，常見的材料是人造紅寶石。
此類測(cè)尖圓度的任何誤差都可能成為三坐標(biāo)機(jī)測(cè)量不確定度的一個(gè)影響因素，這很可能造成三坐標(biāo)機(jī)精度降低達(dá)10%。兩種常用的測(cè)球指標(biāo)是5級(jí)和10級(jí)（等級(jí)越低測(cè)球越好）。測(cè)球等級(jí)由5級(jí)“降”到10級(jí)，測(cè)針可能會(huì)節(jié)約些許成本，但極有可能對(duì)高精度的要求造成威脅。
在掃描應(yīng)用中明顯，如以紅寶石測(cè)針來掃描鋁材或鑄鐵，兩種材料之間的相互作用會(huì)產(chǎn)生對(duì)紅寶石測(cè)球表面的“粘附磨損”。因此，建議使用氮化硅測(cè)針來掃描鋁材工件或使用氧化鋯測(cè)針來掃描鑄鐵工件，以避免粘附磨損現(xiàn)象。