在測量采樣過程中，當(dāng)蔡司三坐標(biāo)測針與被測件表面觸碰時，測頭系統(tǒng)會有信號顯示，作為測量的瞄準(zhǔn)信號，進而通知計算機進行數(shù)據(jù)的采集，以得到得被測點的坐標(biāo)值。
此外，由于蔡司三坐標(biāo)測量機通過測頭系統(tǒng)進行探測，得到的點位坐標(biāo)值是測球中心的坐標(biāo)值，為了獲得被測工件的實際尺寸，還需加上或減去測球的動態(tài)直徑值。進入測頭校準(zhǔn)程序后，對標(biāo)準(zhǔn)球進行測量，測量方法與幾何元素測量程序中的球的測量方法一樣，當(dāng)采點數(shù)量達到要求時，測量程序會自動對測量點進行計算處理，將處理后的測頭校準(zhǔn)結(jié)果，自動返回到測頭校準(zhǔn)對話框界面中。在按下回車按鍵后，校準(zhǔn)后的測頭數(shù)據(jù)將作為修正值用于后續(xù)的應(yīng)用數(shù)據(jù)處理中。基準(zhǔn)后的測頭數(shù)據(jù)包括測頭半徑及球度誤差還有測球中心相對于零號測頭中心的坐標(biāo)值。